1.imec在2026 SPIE光掩模技术+EUV光刻会议上展示,使用化学放大光刻胶(CAR)单次打印High-NA EUV光刻,成功实现22nm间距随机逻辑线和28nm中心距通孔。
2.属于前道晶圆制造的光刻步骤(步骤6),涉及光刻胶材料和High-NA EUV光刻机。
3.可能影响ASML、光刻胶供应商(JSR、信越化学、东京应化)及先进逻辑/DRAM制造商(台积电、三星、英特尔、SK海力士)。
4.为什么值得关注:High-NA EUV是2nm及以下节点的关键,CAR光刻胶在分辨率和灵敏度上面临挑战,imec证明其仍可扩展,可能减少对金属氧化物光刻胶的依赖,降低工艺转换风险。
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