1.发生了什么:三星官方公布技术路线图,计划于2030年左右在其1nm(A10)制程节点正式部署下一代High-NA EUV用于大规模量产。
2.属于产业链哪个环节:核心环节为光刻,系将电路图案转移到晶圆的关键步骤。
3.可能影响的公司或赛道:ASML(独家供应商)、三星及台积电等先进制程代工厂。
4.为什么值得关注:High-NA EUV能用于更精细的单次曝光,避免多次曝光带来的成本与良率损失。目前2nm/1.4nm更依赖0.33NA EUV的多重图案化,但迈向1nm以下工艺,High-NA将成为必要选项,标志着光刻技术的重大代际更替。来源链接
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