1.发生了什么:中国长鑫存储(CXMT)在合肥测试bonded DRAM中试产线,将存储阵列与外围电路分别在不同晶圆制造,然后通过键合集成,仅使用DUV光刻和多层图案化技术,无需EUV即可制造超高密度DRAM。
2.属于产业链哪个环节:涉及前道晶圆制造(逻辑与存储单元分开流片,需光刻、蚀刻、沉积)和先进封装中的晶圆对晶圆键合(步骤15),是制造架构上的集成创新。
3.可能影响的公司或赛道:CXMT若成功,将缩小与三星SK海力士差距,三星“B1b”与SK海力士类似项目面临竞争;EUV设备需求可能被稀释,影响ASML;键合设备及DUV材料需求上升。
4.为什么值得关注:这是中国存储厂商在EUV受限下开辟的非光刻缩放路径,有望改变DRAM竞争格局。对新人而言,就像将复杂积木分成两块分别搭建再合并,绕开了最精细雕刻工具的限制,成本与良率控制是关键。
[1]