1. 大阪大学等机构提出2微米双光束激光照射方案,通过辐射流体动力学模拟优化,将EUV转换效率提升40%,并发表研究。
2. 该技术直接对应光刻环节(步骤6),作用于LPP-EUV光源产生等离子体的关键物理过程。
3. 可能受益设备商:ASML及其光源供应商Cymer/Gigaphoton;先进逻辑与存储器制造厂均将受益于更低的光刻成本。
4. EUV光源功耗极大、效率仅约6%,效率提升40%意味着大幅降低每片晶圆的能耗与运营成本,是推进2nm及以下节点经济性的关键突破。文章链接
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