1.SK海力士完成375层3D NAND生产验证,将在年底前于M15厂转线量产,并非新建晶圆厂。2.该技术属于薄膜沉积环节的关键工艺,使用新型金属钼替代部分钨作为字线材料,以解决高堆叠下的互连电阻与信号延迟问题。3.设备端SK海力士选择了东京电子(TEL)的炉管式设备而非泛林集团(Lam Research)的单晶圆设备;材料方面,液化空气集团、Entegris及默克有望供货。4.新人需知:NAND芯片为降低成本便需纵向堆叠更多层数,但导线的电阻会因变细而升高,导致速度变慢。采用电阻率更低的钼能直接提升读写速度,是三星及SK海力士都在攻克的关键材料。
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