1. imec在ITF论坛发布最新技术路线图,预测CFET晶体管架构将于2033年左右在A7节点实现商用,堆叠式结构可节省约50%逻辑单元面积。
2. 该进展直接影响制造流程中的薄膜沉积与【蚀刻】环节——CFET需交替沉积硅/硅锗超晶格并选择性刻蚀释放纳米片通道。
3. 路线图背书将加速英特尔、三星、台积电三巨头的CFET预研竞赛;远期涉及二维半导体供应商。
4. 这相当于官方版的“半导体导航地图”:GAA(全环绕栅极)之后是CFET立体堆叠,再下一代可能是原子层厚度的二维材料。新人记住“FinFET->GAA->CFET->2D材料”这个进化链即可。
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